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工业型原子力显微镜AFM主要应用于2~8inch晶圆表面形貌的综合检测。更多详情请继续浏览本栏目。
产品详情
工业型原子力显微镜AFM针对产品表面的形貌如粗糙度、局部微观轮廓等有 纳米尺度的检测能力，提供原子或近原子及分辨率的表面形貌图像。
工业型原子力显微镜AFM的扫面原理是利用针尖原子与样品表面原子间存在极微弱的范德华力，得到样品三维表面形态影像，包括能够定量样品的表面粗糙度 到Å等级，此外工业型原子力显微镜AFM还能获得纳米级微观结构形貌以及表面微观缺陷等详细信息。
工业型原子力显微镜AFM应用案例
●硅晶圆表面刻蚀不规则深孔结构
●SiC晶圆片（碳化硅）
●GaAs晶圆片（砷化镓）
●GaN晶圆片（氮化镓）
●蓝宝石外延片（Al2O3）
●玻璃面板、光学玻璃
●微光学器件
●芯片刻蚀结构
●高深宽比光栅
想了解更多工业型原子力显微镜检测案例的朋友，欢迎您电话咨询汇光科技0512-67625945.
工业型原子力显微镜技术要求
| 技术参数 | 设备 |
| 工作模式 | 1. 轻敲模式（Tapping mode) 2. 接触模式（Contact mode） 3. 力曲线测量模式（F-Z 曲线，RMS-Z 曲线） |
| 工作方式 | XYZ 三轴均采用压电陶瓷驱动探针针尖进行扫描，工作扫描时样品保持不动，样品大小及重量完全不受扫描器的限制 |
| 激光扫描头 | 1. 扫描器：三轴分离式扫描器 2. 扫描范围：XY 方向≥100um*100um，Z 方向≥10um 3. 噪音水平：系统高度噪音 RMS≤0.05nm 4. 激光器：波长 650nm，光功率≤0.5mW 5. 光电探测器：波长带宽 400~1100nm，灵敏度 6mV/nm |
| XY样品台装置 | 真空吸附式样品载物台，直径≥200mm；可测试更大样品直径≥250mm，更大重量≥15kg； 步进电机驱动控制，可任意编程测试点；样品边缘位置测量精度及分 辨率与中心位置保持一致，完全不受样品台移动影响；样品台移动行 程 2000*200mm，重复定位精度 PV 值≤1μm |
| Z向进针系统 | 样品趋近方式，智能自动进针，步进马达加压电陶瓷自动探测的智能进针，Z 轴升降行程 15mm |
| 手轮摇杆装置 | 通过手轮摇杆可六个自由度任意控制样品台的移动和样品的升降，方向和速度均可根据手感来调节 |
| 辅助光学系统 | 原位光学观测系统，便于原位观测和选取测试区域；同轴照明光源设 计；10X 光学物镜和数字放大；光学显微较小分辨率≤1μm |
| 整机光电结构 | 龙门架式大理石结构，稳定可靠，避免了悬臂梁结构的弹性振动；水平和垂直方向均做了机械平衡性设计，有效降低刚性结构的固有频率 |
| 防震隔音系统 | 日本进口气浮式减震台，固有频率低至 1.5Hz，密闭式隔音箱系统， 使整台原子力显微镜仪器都处在密闭的隔音箱体内部工作，可有效抑 |
| 控制器系统 | 内置 DSP 处理器，嵌入式 PID 自整定智能调节器，无需手动设置，系统自动整定优化参数，以 DSP 技术为基础实现完全数字反馈控制系统 |
| 在线控制软件 | 具备接触、轻敲、抬高等多种扫描模式，多种扫描控制、多通道信号同时采集和显示、具备实时在线图像重构及测量等功能 |
| 图像分析软件 | 具有数据导出功能，用户可取得原始数据；图像同步功能，可指定多达 4 个相关图像同步处理；用户任意定义的 24 位系统调色板；图像 |
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