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行业动态

嘉兴红外显微镜观察硅芯片

分类:行业动态 发布时间:2024-11-15 122次浏览

红外显微镜利用红外光作为像的形成者,其波长范围通常在 800nm 到 20μm 之间 。对于硅芯片而言,红外光能够在一定程度上穿透硅材料,从而可以对芯片内部的结构和信息进行观察。

那么,使用红外显微镜观察硅芯片都有哪些优势呢?

无损检测:

硅芯片是一种高精度、高集成度的微电子器件,常规的检测方法可能会对其造成损坏或影响其性能。而红外显微镜可以在不破坏芯片结构和性能的前提下,对芯片内部进行观察和分析,这对于芯片的质量控制、失效分析以及研发等环节都具有重要意义。

2红外显微镜-失效分析.jpg

穿透能力强:

红外光能够穿透一定厚度的硅材料,从而可以观察到芯片内部的电路结构、杂质分布、缺陷等信息,有助于检测芯片中的隐藏缺陷和问题,如短路、开路、金属化层缺陷等。

红外显微镜.jpg

高分辨率成像:

汇光科技的红外显微镜配备了高分辨率的成像系统、高灵敏度的探测器以及高质量的光学部件,能够提供亚微米级甚至更高分辨率的图像,从而可以清晰地观察到芯片内部的微小结构和细节特征。

红外显微镜.jpg

可观察多层结构:

对于多层结构的硅芯片,红外显微镜可以通过调整成像参数和分析方法,分别对不同层的结构和信息进行观察和分析,有助于了解芯片的整体结构和性能。


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