那么,半导体检测设备有哪些是用起来比较得力的呢?
1、共聚焦显微镜
检测对象:晶圆封装检测
案例:使用共聚焦显微镜(如HGO-6200)分析晶圆激光切割引导槽的深度和3D形貌,确保后续封装精度。
2、上海金相显微镜
检测对象:引线键合检测
案例:使用上海金相显微镜(如HGO-MX4RT),光学放大倍率从20倍到2000倍,观察芯片上的引线孔和引线架上的引脚是否连接。
3、红外显微镜
检测对象:芯片Mark标记检测
案例:利用近红外波段绕射及穿透能力强、吸收率低的特点,MH100-IR近红外显微镜可穿透一定厚度的覆盖片,实现芯片内部的无损检测。
4、上海测量显微镜
检测对象:半导体芯片印字检测
案例:通过上海测量显微镜(如汇光HJG系列)分析刻蚀深度,确保印字位置准确。
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